英文叫Spin Coater或者Spin Processor,又稱:旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。
KW系列勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
類別 | 型號 | 特點 | 對比 |
通用型 | KW-4A | 皮實耐用 | 皮實耐用,性價比高,國產電機 |
KW-4B | 304不銹鋼材質防酸防堿防腐蝕 | 4A升級款,不銹鋼機身,國產電機 | |
中端型 | KW-4BC | 4.3寸彩色觸摸屏 可設10段速度段 加速度可調 轉速范圍50-10000轉/分鐘 | 4B升級款 4.3寸真彩色觸摸屏 存儲10段無數組數據 國產電機 |
KW-4C | 4.3寸真彩色觸摸屏,最多可設10段10組數據,加速度可調,帶USB口可外接鍵盤鼠標U盤等設備,體積小巧可放入手套箱。可接無線鼠標鍵盤:機器可放于手套箱內,同時客戶可在手套箱外遠程操作機器 1.帶防飛片保護與報警 2.帶防進膠保護與報警 3.帶自動取片提示功能 | 帶USB通信接口 可正反轉旋涂 美國進口電機 | |
KW-4L | 8寸超大真彩色觸摸屏,最多可設15段無數組數據,加速度可調,帶USB口,串口,網口可外接鍵盤鼠標U盤等設備 | 8寸超大真彩色觸摸屏 帶USB,RS485串口 可正反轉旋涂 德國進口電機 | |
KW-4E | 1.室溫-200℃精確控制, 2.8寸超大真彩色觸摸屏, 3.旋涂正反轉可自由切換, 4.可帶2-4路自動滴膠顯影功能, 5.腔室采用PTFE材料防酸防堿防腐蝕 6.腔室帶抽廢氣功能 7.吸附不足報警與互鎖 8.帶進膠保護與報警 | 帶加熱功能 可帶2-4路自動滴膠顯影功能 腔室采用聚四氟乙烯材料 可正反轉旋涂 德國進口電機 | |
KW-4S | 1.室溫-200℃精確控制 2.可放入手套箱 | 可放入手套箱 腔室采用聚四氟乙烯材料 | |
KW-4Q | 1.旋涂基片可支持300mm(12寸)基片 | 桌面型 | |
KW-4K | 1.旋涂基片最大可支持450mm基片 | 1.立柜結構方便操作 |